干式真空泵（也称干式机械泵）是指该泵在常压下可启动抽气，并可将抽吸的气体直接排放到大气中。泵腔内无油或其他工作介质，压力等于或接近油封真空泵的机械真空泵。
截至2013年，真空行业使用的机械真空泵大多采用油、水或其他聚合物等流体作为泵的工作介质，在泵内具有冷却、密封、润滑等多重功能。随着科学技术的发展和真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其排气系统有两个迫切需要解决的问题：一是泵的工作介质倒流，污染被抽真空容器，而这种回流在很多情况下，会影响产品的质量和数量，增加设备的维护成本。其次，干式真空泵中的介质由于某些过程中的反应物而严重变质，使泵无法正常工作。
对于普通的无油真空系统，虽然可以使用油封真空泵和冷阱或吸附阱等附件来防止回流，但不能彻底解决问题，使系统复杂化。使用合适类型的干式真空泵可以达到预期的效果。
干式真空泵应用广泛，主要表现在以下几个方面：
1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺；
2、半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中，经常使用干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒；
3、对于半导体工艺以外的一些会产生颗粒的工艺，预计颗粒不会混入干式真空泵的泵油中，预计颗粒会从泵中排出。某些类型的干式机械真空泵可以满足要求；
4、化工、医药、食品等行业在蒸馏、干燥、脱气、包装过程中，应防止有机溶剂造成污染，应使用干式真空泵；
5、干式真空泵作为一般无油洁净真空系统的前置泵，防止油污。